原子力显微镜薄膜光学多层膜沉积速率表面形貌多晶硅薄膜类金刚石薄膜等离子体衬底温度晶化
摘要：O484．1 2005042881 PLD法制备纳米类金刚石薄膜及衬底温度的影响=Syn- thesis of nanoscale diamond-like carbon films by PLD and the dependence of substrate temperature[刊,中]／欧阳钢 (湘潭大学材料与光电物理学院,湖南,湘潭(411105)),郭建…／／光电子·激光,-2004,15(12),-1456-1459,1463 利用脉冲激光沉积(PLD)技术在O2氛围下于α- Al2O3(0001)基片上制备出纳米类金刚石薄膜。借助扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)和Raman光谱分析了薄膜的形貌和结构随沉积时衬底温度的变化情况。
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