紫外探测器等离子体光电子技术光探测金属有机化学气相沉积曲线显示器件集成光电子学高阻国家重点实验室
摘要：TN364 2005010465 ZnO基紫外探测器的制作与研究=Fabrication and study of ZnO UV photodetector[刊,中]／杨晓天(吉林大学电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点实验室．吉林,长春(130023))．刘博阳…∥发光学报．-2004,25(2)．- 156-158 利用新型的等离子体辅助金属有机化学气相沉积(P- MOCVD)系统在蓝宝石、硅等衬底上生长出具有单一c轴取向、高阻的ZnO薄膜,利用添加的等离子体发生装置,进
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