薄膜光学表面形貌发光特性国家重点实验室类金刚石膜光致发光大学物理发光学分子束外延功能材料
摘要：O484.1 2005010406 R.F.溅射Ba0．5Se0．5TiO3／RuO2薄膜及其介电特性研究= Dielectric propertics of sputtered Ba0.5 Sr0.5 TiO3 thin film on RuO2 bottom electrode[刊,中]／张柏顺(湖北大学物理学与电子技术学院．湖北．武汉(430062)),章天金…∥光电子技术与信息,-2004,17(2).-19-22 用R.F．磁控溅射法在p-Si(100)衬底上沉积Ba0.5 Sr0.5TiO3／RuO2异质结,BST薄膜的晶相和表面形貌用 XRD和SEM分析,表明在衬底温度为550℃时。薄膜的结晶度高、表面粗糙、晶粒较大。电容器InGa／BST／RuO2的
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