三维形貌测量自动调焦系统测量精度相移干涉显微镜图像标准窗口傅里叶变换光学技术调焦方法相移技术熵函数
摘要：TB92 2004064437 三维形貌测量中自动调焦系统的设计=Design on an automatic focusing system for 3-D topography measurement[刊,中]/童凯(燕山大学.河北,秦皇岛(066004)),任锐…∥光电工程.—2004,31(3).—56-59 在相移干涉显微镜中增加了自动调焦系统,使其快速获取高清晰干涉图像,提高了三维形貌的测量速度和测量精度。调焦系统采用图像自动调焦方法,分别以图像标准差函数和图像最大熵函数作为粗调函数和精调函数。实验表明本系统自动调焦范围扩大到士150μm,自
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
