偏振模色散补偿光电子波分复用器偏振度结构参数串扰容差激光数值模拟平面波导
摘要：TN915.05 2004064421 马赫-曾德干涉型波分复用器的容差分析=Tolerance analyses of the Mach-Zehnder interferometric demutiplexer[刊,中]/夏君磊(中科院半导体所光电子研究发展中心.北京(100083)),郜定山…∥光电子·激光.—2004,15(6).—645-648 通过耦合模理论分析了马赫-曾德干涉(MZI)型波分复用器各结构参数工艺误差对器件串扰的影响,比较了各结构参数的工艺容差性。结果表明。如果串扰要求在—30dB以下,则波导臂长差的容差性为1％,耦合长度的容差性为2％,波导宽度的容差性较好;容差达到0.6μm时,串扰仍然在—58dB;波导间距对工艺精度要求最高,
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