激光推进单壁碳纳米管调阻控制方法精度控制激光刻蚀测量精度激光微调片式电阻激光制备
摘要:TN249 2004053486 片式电阻激光微调过程中的调阻精度控制=Precision control during chip resistor laser trimming[刊,中]/王志娟(中科院长春光机所,吉林,长春(130022)),孙继凤…∥光电子·激光。—2004,15(1)。—86-88 提出了一种基于激光刻蚀路径的修调电阻精度控制方法。该方法通过动态确定L型调阻图形的横、纵向切割长度实现对调阻精度的控制。在保证阻值测量精度的
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