薄膜光学理论与膜系设计

纳米薄膜介质多层膜制备多层膜光栅类金刚石膜光致发光规整膜系低折射率退火温度电子束蒸发

摘要：设计了一维金属/介质多层膜系,膜系由几个周期的高折射率(A12O:)/低折射率(MgF:)材料所组成。在低折射率材料中插人金属层(AD对膜系进行优化,利用电子束蒸发方法制备了该膜系。实验表明,不仅Al层的总厚度直接影响透射谱的形状,在同样AI层总厚度情况下,AI层

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