大面积扫描探针显微镜研制

作者：路小波; 陆祖宏; 周庆; 王国著扫描探针显微镜自动逼近自动聚焦图像拼接

摘要：介绍了一种大面积扫描探针显微镜.仪器采用大范围扫描与高精度微动扫描相分离、X-Y扫描与纵向检测相分离的方案,同时具备较大扫描范围和较高的分辨率,扫描重复性好,大面积扫描范围220 mm×290 mm×60 mm,重复性2～3μm,并可实现探针的自动逼近、光学显微镜自动聚焦和图像自动拼接.

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