氮化硅粉体化学气相法批量生产等离子体粉体工艺系统转相热处理装置
摘要：一、专利号专利号：ZL02123440．X 二、专利简介等离子体化学气相法批量生产氮化硅粉体转相工艺及系统，该系统是在等离子体化学气相法生产无定型氮化硅粉体工艺的基础上增加一个连续转相热处理装置，所述装置主要由推料器、前密封箱、中温炉、高温炉、冷却带以及后密封箱组成，在该装置内装有可连续运动的多个盛粉容器，并以氨或氨与氮的混合气为保护气氛。采用本发明可连续、批量生产高a相氮化硅粉体；
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