作者：宫占江 李金平 张鹏 陈丽洁 孟洪mems矢量水听器接收灵敏度动态范围
摘要：介绍了一种基于MEMS工艺设计的电容式矢量水听器。该矢量水听器的检测单元包括一个“三明治”结构敏感芯片和一个采用变送集成技术的信号调理电路。通过优化敏感芯片的结构和低噪声的信号调理电路，使矢量水听器得到很高的灵敏度、分辨率。利用MEMS微机械加工工艺制作出矢量水听器，检测单元相互正交并进行了声学灌封。矢量水听器完成了水下驻波场测试，测试结果表明：该矢量水听器的接收灵敏度在1000Hz时达到一180dB（0dBre1V／μPa），动态范围大于120dB。
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