作者：梅迪; 苏中; 刘洪芯片测试harris角点检测hough变换自动对准
摘要：针对芯片测试设备中的机器视觉系统可以实现芯片自动对准的需求,提出一种基于Harris-Hough算法的芯片初始测试点对准方法。通过Harris角点检测算法获得图像中探针顶端的角点位置,建立图像位置定位基准;通过Hough变换提取芯片初始测试点位置,计算芯片初始测试点和探针顶端之间所需移动距离;在不同光学放大倍率下进行粗、细两步对准,达到所需定位精度要求。该方法经过Matlab编程实现,经测试验证,能够有效获得芯片初始测试点及探针顶端的位置坐标,准确度达到0.3μm。经过距离换算,可以为芯片测试设备的运动控制系统提供移动参数。
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