作者：张霞微电子机械系统mems普通物理学微传感器有限元计算微加速度计微陀螺
摘要：简要介绍了微电子机械系统,一个新兴的高新技术领域,并以微机械陀螺和加速度计结构为例说明了物理学基本原理在MEMS器件中的应用.
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