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化学气相沉积ZrC陶瓷涂层的微观结构和抗烧蚀性能

作者:熊翔 孙威 李国栋 张红波 肖鹏 陈招科碳化锆化学气相沉积烧蚀氧化

摘要:为了提高碳/碳(C/C)复合材料的抗烧蚀性能,在C/C基体上成功制备了碳化锆(ZrC)高温抗烧蚀涂层。用常压化学气相沉积法,前驱体选用ZrCl4+C3H6+H2+Ar体系。通过调节C3H6的流量,制得3种碳锆原子比的ZrC陶瓷涂层(ZrC1.0+C,ZrC1.0,ZrC0.7)。分析了不同锆碳比ZrC涂层的相组成和形貌差异,研究了锆碳比对ZrC陶瓷涂层的烧蚀性能的影响。结果表明,3种ZrC涂层都可有效提高C/C复合材料的抗烧蚀性能,但由于微观结构特征不同,3种涂层显示不同的烧蚀性能和烧蚀机制。其中,ZrC0.7涂层试样烧蚀后,表面形成致密的氧化物层,烧蚀性能最佳,烧蚀240s后质量烧蚀率和线烧蚀率分别为1.1×10^-4g/cm^2·s和0.3×10^-3mm/s。

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中国材料进展

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