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Al2O3陶瓷片上沉积钛膜的研究

作者:骆瑞雪; 李争显钛膜al2o3陶瓷离子镀金属化

摘要:采用电弧离子镀方法在Al2O3陶瓷片上沉积Ti金属膜,并对成膜厚度的影响因素进行分析,沉积Ti金属膜合适的工艺参数为:电流70A,时间20min~30min,工件转速2 r/min~4 r/min.

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中国材料进展

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