作者：孙翔宇; 孙德贵si3n4薄膜光波导等离子体刻蚀
摘要：本文通过Opti-BPM软件设计了一种新型的脊形光波导器件,并分析了不同宽度、厚度及底模的厚度对这种光波导器件输出功率的影响,加工成实验样片,进行在光学耦合平台上测试,将两种结果相对比。先在BaTiO3薄膜上沉积Si3N4薄膜,刻蚀出Si3N4脊,形成基于钛酸钡晶体薄膜的氮化硅脊形波导。
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