作者：张恩阳; 闫晓剑; 夏维高光谱传感器法珀腔近红外光谱仪微机电系统
摘要：基于MEMS（微机电系统）光谱传感器开发了一款微型智能近红外光谱仪,通过控制微机电法珀腔的两层高反射率薄膜之间的电压,改变薄膜之间静电力的大小来控制薄膜之间空气隙的厚度,从而实现时间顺序的干涉滤波;采用漫反射式光谱采样系统,设计了照度均匀的Φ40mm近红外采样光斑和二片式非球面光学系统;光谱仪采用智能手机控制,开发了Android平台的光谱采集软件,将光谱数据通过移动网络上传到光谱云平台进行分析处理。针对聚苯乙烯薄膜进行了光谱扫描的重复性测试,连续测试20次,光谱曲线标准偏差在0.0001-0.0002之间,光敏二极管温升1.3℃,满足实际使用要求。
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