作者：徐立; 李闯; 郑培亮; 黄振宇; 李倩叉指状电容静电力微纳力测量装置
摘要：基于叉指状电容结构,设计一种微纳力测量装置。利用叉指状电容结构之间产生的微纳量级静电力,实现对微纳力的准确测量。装置结构简单、操作方便,同时可测量不同方向的微纳力。通过理论计算、数值模拟及实验结果的分析表明:在100V~600V的加载电压区间内,装置能达到较高测量准确度;当加载电压超过600V时,由于加载电压自身不确定度增大,导致测量结果误差增大。研究结果对微纳力测量装置的小型化、集成化具有较大实用价值。
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