作者：李普; 方玉明mems谐振器滤波器灵敏度
摘要：以静电梳驱动折叠梁硅微机械谐振器为研究对象,在建立硅微机械谐振器振动方程的基础上,导出了幅频函数、相频函数对固有频率相对误差、品质因数相对误差的灵敏度表达式,重点分析了固有频率相对误差、品质因数相对误差在中心频率处、3dB截止频率处对幅频特性、相频特性的影响,以及对常用的3dB通带带宽的影响,得出了一些重要的结论.
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《振动工程学报》（CN：32-1349/TB）是一本有较高学术价值的大型双月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《振动工程学报》1995年江苏省首届期刊质评一级期刊；1997年获中国科协优秀期刊；1999年获国家自然科学基金委经费资助。
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