作者：曾俊辉 杜良 张东 杜纪富 杨淑勤 黄宁康cu膜加热处理混合程度
摘要：在不锈钢基体上用离子束混合技术沉积SiC—C涂层，为有效提高SiC-C涂层与不锈钢基体元素的混合效应，采用涂覆后对样品进行加热处理以及在不锈钢基体上预沉积Cu薄膜的方法，试图改善SiC—C涂层与基体的混合效果。通过二次离子质谱（SIMS）测试分析涂层与基体的界面组份分布。结果表明，加热处理可以提高SiC-C涂层组元向基体的内扩散，但效果不甚显著。添加Cu层以及随后的加热处理可极大提高与不锈钢基体的混合程度。
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