作者：朱丽慧; 胡涛; 宋诚; 孟吉炜; 刘振宇; 刘...tialn涂层阴极电弧蒸镀热稳定性相结构硬度
摘要：采用阴极电弧蒸镀在WC-Co硬质合金基体上沉积Ti0.45Al0.55N、Ti0.35Al0.55Si0.1N和Ti0.3Al0.55Cr0.15N涂层,并在900℃下对涂层试样真空退火30 min和120 min。采用X射线衍射仪和显微维氏硬度计分析比较退火前后涂层的物相及硬度,研究Si、Cr的加入对Ti Al N涂层热稳定性能的影响。结果表明：在Ti Al N涂层中加入Si、Cr后涂层的硬度增加。900℃退火后,Ti0.45Al0.55N涂层的硬度逐渐下降,Ti0.35Al0.55Si0.1N和Ti0.3Al0.55Cr0.15N涂层的硬度则呈上升趋势,并且Ti0.3Al0.55Cr0.15N涂层的硬度始终保持最高,而Ti0.45Al0.55N涂层的硬度最低。Si、Cr的加入能推迟涂层退火过程中软质的密排六方Al N相的形成,Cr还能延缓面心立方（TiAl）N相的调幅分解。Si、Cr的加入有效改善TiAlN涂层的热稳定性能,Ti0.3Al0.55Cr0.15N涂层的热稳定性优于Ti0.35Al0.55Si0.1N。
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