作者：陈辉; 汪建华; 翁俊; 孙祁微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜微波功率
摘要：以H2和CH4的混合气体为气源，使用实验室自制10kW新型装置，采用微波等离子体化学气相沉积法（MPCVD）在Si（100）基体上沉积金刚石薄膜，然后采用扫描电镜（SEM）、Raman光谱以及XRD光谱，以得到表面形貌、样品质量和晶面取向等信息，由此获得微波功率对金刚石薄膜取向的影响。结果表明，微波功率对金刚石膜的质量、表面形貌和晶面取向都有明显地影响，随着微波功率升高，金刚石薄膜的形貌变得规则，薄膜中Isp3／Isp。由1．52提高到6．58，其沉积晶面的I（100）／i（111）由0-38提高到3．93。当微波功率为4900W时，所得沉积样品晶面以（100）为主，形貌规则，纯度很高。
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