作者：孙祁; 汪建华; 翁俊; 罗曼微波等离子体金刚石薄膜甲烷氧气半高宽
摘要：利用实验室自主研发的10kW微波等离子体装置，在直径为75mm的（100）硅片上快速沉积高质量（100）面金刚石薄膜。实验中，甲烷浓度由1％提高至5％，金刚石薄膜的沉积速率由ltun／h增至8．2μm／h。随着金刚石薄膜生长速率的增加，薄膜质量下降，晶型杂乱，非金刚石相含量增加。在气源中加入氧气以提高高速生长下金刚石薄膜的质量。不同氧气浓度对金剐石薄膜的半高宽（Fun Widthat Half Maximum，FWHM）有较大影响：氧气浓度为0．1％-0．5％时，金刚石薄膜的FWHM随着氧气浓度的增加而减小；0．6％-1．2％时，薄膜FWHM值随着氧气浓度的增加而增大；浓度大于1．2％时，FWHM值保持不变。在H2流量为300cm3／min，CH4浓度为5％，O2浓度为0．5％的条件下，制备出了（100）面完整，晶型完整，有台阶生长状的金刚石薄膜。
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