作者：袁红梅金刚石薄膜硬质合金化学气相沉积法涂层工艺参数
摘要：采用热丝化学气相沉积法（HFCVD）在硬质合金基体上制备金刚石薄膜涂层，采用SEM观察金刚石薄膜形貌，采用Raman光谱法分析制备的金刚石薄膜与基体的内应力。变化丝基间距、偏流、碳浓度等参数，通过测定拉曼光谱单一谱峰的位移△ω计算涂层的内应力，从而得到制备内应力较小的金刚石膜的工艺参数范围。
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