作者：谢鹏; 汪建华; 王传新; 满卫东; 王升高; ...类金刚石薄膜射频辉光等离子体硬度硬质合金
摘要：采用射频辉光等离子体法制备了类金刚石薄膜，研究了影响类金刚石薄膜硬度的各种因素，包括：极板间距、甲烷浓度、射频功率和膜层厚度等，分析了各种生长参数对类金刚石薄膜硬度的影响机理，找出了最佳的生长参数。
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《硬质合金》（双月刊）创刊于1962年，由株洲硬质合金集团有限公司主管，株洲硬质合金集团有限公司;中国钨业协会硬质合金分会主办，CN刊号为：43-1107/TF，自创刊以来，颇受业界和广大读者的关注和好评。 《硬质合金》为我国硬质合金行业的权威性科技刊物，其办刊方针和宗旨是：遵循科学技术为经济建设服务的方针，面向生产科研，立足生产实践，着眼技术开发，介绍科研成果，交流生产经验，传播技术信息，推广应用技术，反映国内外动态等等，报导面非常广泛。
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