作者：邢文娟; 汪建华; 满卫东; 严朝辉; 谢鹏cvd金刚石膜微波等离子体刻蚀抛光
摘要：采用直流溅射方法在化学气相沉积（CVD）金刚石膜表面镀上一层铁薄膜，在氢等离子体条件下利用铁对金刚石膜的快速刻蚀实现初抛光，然后再进行机械抛光，提高抛光效率。
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《硬质合金》（双月刊）创刊于1962年，由株洲硬质合金集团有限公司主管，株洲硬质合金集团有限公司;中国钨业协会硬质合金分会主办，CN刊号为：43-1107/TF，自创刊以来，颇受业界和广大读者的关注和好评。 《硬质合金》为我国硬质合金行业的权威性科技刊物，其办刊方针和宗旨是：遵循科学技术为经济建设服务的方针，面向生产科研，立足生产实践，着眼技术开发，介绍科研成果，交流生产经验，传播技术信息，推广应用技术，反映国内外动态等等，报导面非常广泛。
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