作者：梁耀晖; 靳婷; 周波pcb场发射扫描电镜成像模式图像质量
摘要：场发射扫描电子显微镜(field emission scanningelectron microscope,FE-SEM)因具有分辨率高、景深长、立体感强和细节丰富等特点,已经成为材料表面形貌和微观结构分析的主要工具,在PCB的品质监控、工艺改善、失效分析等领域被广泛应用。文章通过扫描电镜的工作原理,探究成像模式、加速电压、工作距离、入射电流对PCB检测成像质量的影响,进行总结归纳。
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