作者：刘尊奇 张胜涛 何为 莫芸绮 周国云 倪乾...rtr精细线路cof正交设计法
摘要：随着电子产品小型化和液晶显示器IC封装技术的快速发展，COF（Chipon Film）技术的应用市场得到了迅速扩大。按照片式减成方法制作的线宽／线距在50μm／50μm以下的精细线路，常常会出现导线过细或断线等缺陷。论文采用目前先进的RTR（Roll to Roll）生产工艺，选用12μm钢箔、15μm干膜，使用玻璃菲林进行图形转移，并运用正交设计法对影响精细线路品质的曝光能量、显影速度、蚀刻速度、蚀刻压力等因素进行优化试验。以精细线路的线宽和蚀刻系数作为评价标准，找出最佳参数，并分析了蚀刻压力对精细线路的影响机理。将最优化参数应用到生产中，使25μm／25μm的COF精细线路的成品率提高20％。最终实现25μm／25μm的COF精细线路的小批量生产。
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