作者:陈文录工艺工作发展中国观点个人电子促进互连
摘要:列举了电子互连工艺研究中的若干错误观点,提出了个人对工艺工作的基本认识,希望有助于树立正确的工艺研究观,促进我国电子互连工艺技术向更高、更强的方向发展.
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