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Mg/SiC反射式宽带多层膜偏振片设计及分析

作者:谭默言多层膜偏振宽带反射极紫外

摘要:利用遗传算法设计了工作在27.5-30.5nm、26.5-31.5nm和25.5-32.5nm波段的Mg/SiC反射式宽带多层膜偏振片.性能参数显示,宽带偏振片在拓展了带宽的同时能够保证较高的偏振度并且能够获得更大的有效积分通量.分析了粗糙度及厚度控制偏移对宽带偏振片性能的影响.分析结果显示,粗糙度及厚度偏移对s光反射率的影响大于对偏振度的影响.

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应用技术学报

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