作者：郑丹; 徐爱国; 董瑾; 郭强纳米氧化多孔铝膜阳极氧化平均孔径孔均匀性
摘要：在单晶硅表面溅射铝,采用两步阳极氧化法制备纳米多孔铝膜。研究了电解液种类、阳极氧化时间、扩孔时间对孔的结构与形貌的影响。结果表明,与硫酸和磷酸相比,草酸是制备纳米孔阵列的相对方便与可靠的电解液;第二步阳极氧化时间对孔的均匀性及孔深度影响较大,对平均孔径的影响较小;扩孔时间的长短对孔径大小及孔的均匀性均影响显著。
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
《应用技术学报》（CN：31-2133/N）是一本有较高学术价值的大型季刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《应用技术学报》以报道我国应用技术领域的最新科学技术研究与成果转化，广泛开展学术交流，努力为深化应用基础研究和学科建设、推广支撑技术创新的应用研究、服务区域经济发展和行业企业进步服务，促进应用科学技术领域的发展为办刊宗旨。
省级期刊
人气 238661 评论 36
人气 154355 评论 33
人气 151936 评论 53
人气 123290 评论 54
