作者：赛景波光机电一体化数字鉴相纳米测量三维表面形貌激光测量
摘要：提出了一种基于激光的Raman-Nath衍射和光干涉进行纳米级测量的光机电一体化的新方法,分析了数字鉴相、A/D变换和X/Y驱动的特点,并对测量精度进行了扼要地分析.
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《应用激光》（CN：31-1375/T）是一本有较高学术价值的大型双月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《应用激光》成为同类刊物中发行量最大的期刊。侧重于激光技术在我国工业、农业、科学研究、医疗卫生等各方面应用的综合性期刊。
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