作者：冯延; 田楠; 王继成; 桑田超表面动态调谐机械拉伸滤波器
摘要：可动态调谐的集成光学器件在成像、显示等领域拥有良好的应用前景。提出一种新颖的基于可拉伸衬底的动态调谐氧化钛-聚合物微纳结构滤波器,该结构表面可利用电子束蒸发沉积与剥离技术制作,使用时域有限差分法(FDTD)模拟优化结构参数,分析了滤波效果及其物理规律。分析结果表明:通过拉伸衬底,所设计的滤波器结构能够在可见光波段上实现全波段滤波,并且具有超高反射率,反射率大部分处于95%以上,最高可达99.1%。这为利用沉积剥离技术制备动态调谐滤波器阵列的实验提供了理论支持。相较于静态调谐的滤波器一旦定型即结构无法更改的缺点,提出的动态调谐结构在器件定型后依然可以进行实时调控。
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