作者：王凯歌; 张琛; 王爽; 赵伟; 冯晓强; 孙聃...光学衍射极限连续激光直写技术相位调制纳米柱阵列功能纳米复合结构
摘要：基于激光受激辐射损耗原理的远场光学超分辨成像技术，当圆形入射高斯激光经过涡旋相位板调制后，将转变为中心光强为零的圆环形光束，该形状的激光束与光敏聚合物作用，能够制备出具有一定功能的纳米结构。介绍了自主搭建的基于圆环连续激光光源的激光直写系统，以及利用该系统研制的复合纳米结构。当光源为532 nm连续激光输出时，与正性光刻胶作用，得到直径〈50 nm的纳米柱复合结构，以及整齐均匀的纳米柱阵列结构；与负性光刻胶作用，得到直径〈100 nm的纳米通道，以及整齐均匀的中央有纳米通道的微米柱复合结构阵列。当光源为405 nm连续光纤激光时，与正性光刻胶作用，也得到了直径小至153 nm的纳米柱复合结构及其阵列。这些纳米结构的基本单元尺寸都突破了光学“阿贝衍射极限”的限制，具有实用潜力。
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