作者:翟晓晓; 褚战星; 王力元水溶性光致抗蚀剂化学增幅正型负型
摘要:本文按传统光化学反应型和化学增幅型两种类型对近10年水溶性光致抗蚀剂的发展状况做了分类总结,并重点介绍了成像反应原理和各体系的优缺点.
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《影像科学与光化学》(CN:11-5604/O6)是一本有较高学术价值的大型双月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。
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