可持续发展战略示范工程建设新材料产业电子材料集成电路产业基地生产能力第八届硅单晶外延片多晶硅soi硅材料硅基线宽晶片
摘要：从第八届科博会中国可持续发展战略论坛上获悉，新材料产业“十一五”规划将重点发展17类新材料。首先是硅基微纳电子材料。我国将发展2～3个满足100～45nm线宽集成电路需求的8英寸、12英寸硅单晶、晶片和外延片的高技术产业基地，形成年产3000t多晶硅的生产能力，以及进行6～8英寸SOI、SiGe／Si和应变硅材料示范工程建设。
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