作者：冯艳温度控制光刻机plc半导体加工
摘要：本文介绍了利用PLC实现的光刻机箱体内部温度控制系统的一个硬件设计方案。实验证明。本方案具有设计合理、性能稳定可靠、易于推广等特点。
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《仪器仪表用户》（CN：12-1334/TH）是一本有较高学术价值的大型月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《仪器仪表用户》主要内容：介绍国内外仪器仪表行业新产品、新技术、新工艺、新材料，面向各界用户介绍国内外仪器仪表产品设计选型、使用和维护技术。
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