作者：彭光含 杨学恒 刘济春 李旭 辛洪政原子力显微镜镜体微悬臂隧道谱
摘要：主要研究了一种基于高精度IPC-205B型扫描隧道显微镜（STM）的新型高精度多功能双用原子力显微镜（AFM）技术及其应用。阐述该原子力显微镜的工作原理、组成及应用，详细介绍了该AFM镜体的独特结构和新型微悬臂的制作及其检测方法。该AFM采用简单适用的新型微悬臂。并利用STM检测微悬臂的起伏，通过四维机械驱动和双压电陶瓷扫描，有效提高了扫描精度，扩大了扫描范围。该机型集AFM和STM功能为一体，其中STM可以单独使用。该机型检测精度可达：横向0．1nm，纵向0．01nm。并用该样机进行了样品表面形貌和隧道谱的实验研究。
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