作者：周鹰; 王亚非; 姜海明激光扫描声学显微镜分析与处理图像信号laser无损检测仪声光互作用显微技术结构问题成像机理随机噪声衍射条纹slam幅度信息声波传播线性滤波相位补偿数值运算图像质量声图像新器件新材料计算机
摘要：激光扫描声学显微镜(Scanning Laser Acoustic Microscope,简称SLAM)是声显微技术的一种形式.作为一种无损检测仪,它对于研究新材料和新器件的内部结构问题特别有用.由于声图像的成像机理与光像不同,随机噪声、衍射条纹和声斑干扰了对获得声图像的分析,因此在传统SLAM系统的基础上,讨论了利用获得的被测样品声学幅度信息,针对声波传播、声光互作用、光路及解调这四个过程对信号的影响进行研究,提出了对声学幅度信号进行相位补偿和线性滤波,采用计算机数值运算,以提高图像质量的方法.给出了利用该方法的实验结果.
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