作者：黎永前; 李晓莹; 朱名铨误差修正方法外差式双频激光干涉仪非线性误差精度纳米数据采集系统测量不确定度数据采集板外差干涉仪频率响应混频技术实时采集参考信号测量信号光滑处理采集数据试验结果双通道相位差位移量
摘要：提出一种外差干涉非线性误差修正方法,采用混频技术将光频信号降低到通用数据采集系统频率响应范围内;采用高速数据采集板实现外差干涉测量信号和参考信号双通道同步实时采集;对采集数据进行光滑处理,滤除高阶非线性误差;解出位移量对应的相位差.试验结果表明,所提出的修正方法可以较好地修正双频激光干涉仪中存在的非线性误差,使外差干涉仪测量不确定度由原来的20nm降低到10nm.
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