作者：冯晓国柔性铰链转角刚度传动系统双频激光干涉仪高精度摩擦传动光栅尺滚珠丝杠静压导轨闭环反馈控制
摘要：要制作尺寸达200mm×200mm、最小线宽为1μm的二元光学元件,设备传动系统必须满足大行程、亚微米级定位精度的需求.通过比较滚珠丝杠传动、直线电机传动及摩擦传动的优缺点,提出了采用滚珠丝杠驱动气体静压导轨实现粗定位、压电陶瓷驱动柔性铰链实现精确定位、用高精度光栅尺实现闭环反馈控制的技术方案.对导轨刚度及固有频率、丝杠刚度及固有频率、柔性铰链的转角刚度、光栅尺的反馈误差等影响系统精度的主要因素进行了分析.HP5528A双频激光干涉仪的检测结果表明:传动系统位移灵敏度达到了0.03μm,定位精度小于0.20μm/100mm.
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