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点光源测头光束方向的标定

作者:周会成; 曾理湛; 陈吉红; 周云飞点光源测头光束方向标定机床坐标测量位移检测

摘要:指出在采用点光源测头测量物面测点坐标时,因光束方向相对于机床坐标系的安装偏角而引起的测量误差问题.提出了一种标定光束方向的方法.设计V形块做标定的靶标平面,通过在V形块随各坐标轴做等距移动时采样,实现了点光源测头光束方向的标定.给出了标定光束方向后的测点坐标计算方法.并设计了仿真程序验证了该方法的可行性.仿真结果表明,当测头精度为0.01mm,光栅尺对机床位移的检测精度为0.002mm时,光束方向的标定误差可以控制在0.1mrad的水平.

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