作者：沈英生产方法金属离子电子级高纯度电子化学品工业醋酸环糊精高密度聚乙烯膜过滤复合膜
摘要：<正>发明领域本发明涉及到电子化学品的生产方法,特别是超洁净和高纯度电子级醋酸生产方法。发明背景在电子工业上,电子级醋酸是重要的不可缺少的溶剂和电子化学品之一。由于生产,运输和储存过程中使用的原材料和设备,在醋酸中存在一些微粒,金属离子,未反应的原料,中间产品或副产品。这些杂质的存在,尤其是金属离子,可导致OISF(氧化诱导堆叠故障),使PN结漏电流增大,发生故障,载流子寿命缩短。当集成电路线宽是薄的时,即使是少量的金属离子或粒子也可以摧毁整个电路。因此,电子化学品的纯度要求愈来愈高,保持超大规模集成电路的发展,和满足纳米级集成电路的纯度需求成为电子化学品的趋势。液体的超净高纯试剂,如醋酸(或工艺化学品)生产的关键是保持其中的杂质含量(如金属离子等)和粒度符合标准要求。主要生产方法包括离子亚沸
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