作者：张志坚; 池蓉; 罗凤灵单晶软轴单晶炉固有干扰
摘要：随着半导体产业技术发展,提高单晶材料生长的成晶率和晶体内在品质越来越重要。国内目前普遍采用软轴单晶炉进行锗、硅单晶棒生产,软轴单晶炉相对硬轴单晶炉具有结构紧凑,运行可靠、设备成本低等的优点,但是软轴单晶炉由于软轴系统类似于单摆和弹簧振子的结构特点,容易产生固有共振干扰,存在对晶体品质不利的影响因素。对这些干扰因素、解决措施进行了简要分析和讨论。
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《云南冶金》（CN：53-1057/TF）是一本有较高学术价值的大型双月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《云南冶金》主要刊登矿冶工程技术与应用研究领域的学术论文与综述，报道矿冶工程研究与应用研究的发展动向、新技术、新工艺、新方法、新装备和新成果。
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