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多晶硅产品中磁性物质成分及来源控制

作者:徐远志; 杨芃; 王世松; 顾国宝磁性物质成分多晶硅

摘要:改良西门子法生产多晶硅产品后处理工艺操作中,会引入Fe、Co、Ni、Cr、Zn等成分磁性物质,该磁性物质会随着多晶硅产品进入到下游铸锭工艺中,最终演变成为多晶硅产品中的体金属杂质,影响下游产品质量。目前,国内多数厂家产品中都会检测到磁性物质存在,已经成为一个共性问题,急需解决。

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云南冶金

《云南冶金》(CN:53-1057/TF)是一本有较高学术价值的大型双月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《云南冶金》主要刊登矿冶工程技术与应用研究领域的学术论文与综述,报道矿冶工程研究与应用研究的发展动向、新技术、新工艺、新方法、新装备和新成果。

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