PLC在电子束单晶熔炉控制系统中的应用

作者：王言前; 张根宝; 于大元熔炉单晶电子束控制系统程序控制器可靠运行西门子可编程功能比较

摘要：介绍了电子束单晶熔炉的工作原理,对控制原理进行了分析,提出用西门子200系列的可编程程序控制器对电子束单晶熔炉进行逻辑控制.结合电子束单晶熔炉对控制系统的要求,分别对控制软件的作用和构成进行了详细的说明.控制系统运行表明:控制系统的软、硬件功能比较完善、工作可靠.

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