作者:吕志娟 韩郑生 钟传杰多晶硅薄膜晶体管热载流子退化medicitsuprem4
摘要:基于Tsuprem4和Medici模拟软件,研究了LDD结构对多晶硅薄膜晶体管热载流子退化的影响。计算结果表明当栅氧层厚度tox=0.07μm时,碰撞离化产生率和热电子注入电流峰值将达到最大,扩展区掺杂浓度增加,使沟道中横向电场和碰撞离化产生率的峰值分布区域向着栅电极的方向移动,即在应力作用下,热载流子退化的区域向着栅电极的方向漂移。
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《液晶与显示》(CN:22-1259/O4)是一本有较高学术价值的大型月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《液晶与显示》是中国最早创办的液晶学科专业期刊,也是中国唯一的液晶学科和显示领域中综合性学术期刊。本刊刊发国家重大科技项目和国家自然科学基金项目、“863”项目及各省、部委基金项目的文章达90%以上,并有许多成果已通过国家和省部级鉴定,获得较大的社会效益和经济效益,为我国显示技术的飞速发展做出了重大贡献。
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