作者:李燕; 陈希明; 熊英; 杨保和溅射znox衍射pl谱晶格匹配
摘要:采用直流磁控反应溅射法,在3种衬底上获得c轴(002)定向生长的ZnO薄膜,并利用X射线衍射、PL谱对上述薄膜进行了实验研究。结果表明N型(100)Si衬底上,ZnO(002)取向度最高,分析认为是由于N型(100)Si与ZnO(002)晶格匹配度高所致。
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《液晶与显示》(CN:22-1259/O4)是一本有较高学术价值的大型月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《液晶与显示》是中国最早创办的液晶学科专业期刊,也是中国唯一的液晶学科和显示领域中综合性学术期刊。本刊刊发国家重大科技项目和国家自然科学基金项目、“863”项目及各省、部委基金项目的文章达90%以上,并有许多成果已通过国家和省部级鉴定,获得较大的社会效益和经济效益,为我国显示技术的飞速发展做出了重大贡献。
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