作者：王冬in含量结晶质量bm效应
摘要：借助射频磁控溅射法在石英衬底上制备了In掺杂ZnO薄膜(ZnO:In),研究了In掺杂浓度对薄膜结构、光学及电学性能的影响。结果表明:所有ZnO薄膜均为六方纤锌矿结构,都有较高的光学透过率(高于85%);In掺杂会降低薄膜生长率和结晶质量;随着In掺杂浓度的上升,ZnO薄膜的载流子浓度不断提高,禁带宽度不断增加。
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
《冶金与材料》（CN：23-1602/TF）是一本有较高学术价值的大型双月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《冶金与材料》以马列主义、思想、邓小平理论和“三个代表”重要思想为指导，理论联系实际，开展教育科学研究和学科基础理论研究，交流科技成果，促进学院教学、科研工作的发展，为教育改革和社会主义现代化建设做出贡献。
北大期刊、CSCD期刊、统计源期刊
人气 125710 评论 68
人气 74958 评论 71
部级期刊
人气 65839 评论 67
人气 57628 评论 63
