氧化铝陶瓷镀膜技术内球面专用工装镀复均匀离子束辅助沉积金属复合膜
摘要：采用MEVVA金属离子注入技术和离子束辅助沉积镀膜技术，在高纯氧化铝陶瓷内球面上，镀复一层厚度均匀的、与陶瓷结合良好的金属复合膜，作为某装置内电极。
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