作者：郭虎岗 王玲 高健飞 马宗敏 孟美玉电容式加速度计厚膜混合集成mems信号检测电路混合集成技术性能测试检测精度电路测试
摘要：设计了电容式加速度计的信号检测电路。与电容式加速度计表头进行了联调和测试。并进行了标定。为减小体积。提高电容式加速度计的检测精度，采用了厚膜混合集成技术．将检测电路和电容式加速度计集成于一体。最后进行了电路测试和性能测试。
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《应用科技》（CN：23-1191/U）是一本有较高学术价值的大型双月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《应用科技》集科学性、前沿性、实用性于一体，以高等院校、科研院所的科研人员以及相关学者为读者对象，主要设有船舶与海洋工程、智能科学与技术、现代电子技术、计算机技术与应用、自动化技术、机电工程、材料与化学、核科学技术与应用等栏目。
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